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随着后摩尔定律时代来临,出现了More Moore (深度摩尔)、More than Moore (超越摩尔)、Beyond CMOS (新器件)业界发展的三大方向。其中,超越摩尔意味着发展在先前摩尔定律演进过程中所未开发的部分,致力于特色工艺。

中国电子报/电子信息产业网 2021/05/28 10:12 ALD

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