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ASML出货新光刻机NXT2000i：用于7nm/5nm DUV工艺

据外媒报道，光刻机霸主ASML(阿斯麦)已经开始出货新品Twinscan NXT:2000i DUV（NXT:2000i双工件台深紫外光刻机），可用于7nm和5nm节点。

快科技 2018/08/03 09:10 5nm NXT2000i 出货

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